滁州真空氦气检测机

氦质谱检漏仪应用让我国许多设备的运转情况得到了更好的监控，特别是在一些真空设备的质量检验之中，应用氦质谱检漏仪已经成为了一种常见的事项。氦质谱检漏仪自身的能力和使用情况的直接影响到了设备的检测准度，所以选择合适的氦质谱检漏仪很重要。氦质谱检漏仪的选择：1、如果被检对对象不固定，体积时大时小，灵敏度要求时高时低时，就要选择功能较全、灵敏度较高、检漏范围宽的检漏仪。2、如果检漏地点不固定，需要经常搬运氦质谱检漏仪时，就要选择小型便携式仪器。3、在满足上述检漏基本要求的基础上，还要综合考虑氦质谱检漏仪的价格是否低、操作是否简易、维修是否方便等方面的问题。氦检仪由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。滁州真空氦气检测机

氦检仪的组成部分有哪些？真空系统，仪器的真空系统提供质谱正常工作所需要的真空条件，不同型号的氦检仪其真空系统有较大的差别。真空系统一般包括：1）主泵。一般用扩散泵或涡轮分子泵。极限压力小于5×10-1Pa，其抽速应与气载匹配。2）前级真空泵。一般采用旋片式机械真空泵，在以分子示为主泵的系统中，也有采用薄膜泵或干泵的。抽速与主泵匹配。3）预抽真空泵。一般与前级真空泵共同一个泵，预抽真空泵一般采用旋片式机械真空泵，其抽速视被检件大小而定，因此预抽真空泵大都由用户自配。客制化氦气检测机厂家氨质谱检漏仪在许多领域里得到普遍的应用。

氦质谱检漏仪的日常维护：1.定期检查机械泵的油位，如不足足应及时添加；如果机械泵的油是棕色、褐色或闻起来有糊状的味道，这意味着油已经恶化了。此时，应释放泵中的油，必要时，先用新油冲洗，然后注入新油。2.定期清洗或更换机械泵的排气管。如果排气管中有大量油滴，可以从氦质谱泄漏检测器中取出，然后清洗，然后用热风吹干或自然晾干。使用氦质谱检漏仪常用的方法大体可分为三种，即喷氦法（负压法），正压法，氦罩法。就几种方法的灵敏度比较而言，喷氦法的灵敏度高些。但是当检漏仪安装在大型的、比较复杂的压力容器装置上时，也不敢确切地说喷氦法的灵敏度就是高。

氦检仪测量数据处理：漏率示值误差，①漏率的温度修正，标准漏孔漏率易受温度变化影响，温度对标准漏孔漏率的影响一般为3%/℃ ，所以如果实际环境温度和标准漏孔证书中温度不一致，需要将标准漏孔证书中漏率和标准漏孔漏率的氦检仪示值修正至同一环境温度下来计算，并在测试结果中加以说明，修正方法如下:方法一: 将标准漏孔证书中的漏率修正至实际环境温度下，用标准漏孔证书中的漏率加上或减去温度对标准漏孔漏率的影响系数计算值；方法二: 将标准漏孔漏率的氦检仪示值平均值修正至标准漏孔证书中环境温度下，用标准漏孔漏率的氦检仪示值平均值加上或减去温度对标准漏孔漏率的影响系数计算值。氦质谱检漏仪的关键部件均为进口，性能稳定可靠。

氦检仪应用领域：工业：真空炉、镀膜系统、压力容器、超高真空工程。高能物理：加速器、束线、同步辐射光源。科研领域：空间模拟系统、试验装置、微电子、表面分析系统。半导体及电子：工艺设备、气路、气路传输设备、电子元器件、封装。汽车制冷：蒸发器、空调、管路。核工业：核电阀门、核容器。航空航天：空间模拟器、航天器、管路。电厂：管道、蒸汽发生器、热交换器、冷凝器。氦检仪是对密封容器的泄漏进行快速定位和定量测量的仪器。氦质谱检漏方法与气泡识别法、压强衰减法和卤素检漏等方法相比，具有检测灵敏度高、速度快和适用范围宽，此外氦检仪选择无毒、无破坏性、质量轻的惰性气体氦作为探索气体，所以安全可靠。氦质谱检漏仪的可检漏率：5×10-12Pa·m3/s。客制化氦气检测机厂家

高灵敏度氦检仪的噪声来源大体上可以分为两种，一个是离子流接收放大机输出电路的噪声，另一个是本底噪声。滁州真空氦气检测机

使用氦检仪需注意哪些问题？响应时间与清理时间:正常运行的仪器响应时间与清理时间不应大于3s。氦检仪的响应时间会影响检漏工作的速度:检漏时喷有在漏孔处停留的时间应为仪器响应时间的3倍,该时间再加上氦气在真空系统中的传递时间,即为两次喷氦的较小间隔时间,当然真空系统越庞大,该间隔时间也越长。根据经验,两次喷氦的较小间隔时间控制在30s,如果第1次喷氦后30s内氦检仪还没有反应,则可进行第二次喷氦。仪器的清理时间在理论上与响应时间相同,但由于仪器零件对氦的吸附和脱附作用的影响,清理时间一般要更长些。另外,喷氦量的多少也影响清理时间的长短,喷氦时喷头移动速率合理,可以缩短仪器的清理时间,提高检漏效率。滁州真空氦气检测机

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